Термально-массовый расходомер/регулятор MFC

Воздух: 0 ‒ 10 мНл/мин ... 0 ‒ 50 Нл/мин
tmax    50 °C; pmax    35 бар
Присоединение: ¼ NPT внутр. резьба, быстроразъемное соединение
Точность: ± 1.5 % полной шкалы